Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS

Title:	Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS : Luận văn ThS. Kỹ thuật điện tử - viễn thông: 2 07 00
Authors:	Ngô, Diên Tập, người hướng dẫn Nguyễn, Kiêm Hùng
Keywords:	Công nghệ MEMS;Cảm biến áp suất;Kỹ thuật điện tử;Áp suất;Đo lường
Issue Date:	2006
Publisher:	ĐHCN
Abstract:	99 tr. + Đĩa CD-ROM Trình bày một số khái niệm liên quan đến áp suất và các phương pháp được sử dụng để đo áp suất. Nêu các khái niệm liên quan đến cảm biến áp suất công nghệ MEMS, các quy trình  sản xuất MEMS cũng như các cảm biến áp suất MEMS. Ứng dụng của cảm biến áp suất c (...) Electronic Resources Luận văn ThS. Kỹ thuật vô tuyến điện tử và Thông tin liên lạc -- Trường Đại học Công nghệ. Đại học Quốc gia Hà Nội, 2006
URI:	http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/41883